发明名称 PRESSURE DETECTING CHIP OF SEMICONDUCTOR PRESSURE DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH0582805(A) 申请公布日期 1993.04.02
申请号 JP19910239517 申请日期 1991.09.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKEUCHI TAKANOBU
分类号 G01L9/04;G01L9/00;G01L9/06;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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