发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0582559(A) 申请公布日期 1993.04.02
申请号 JP19910239358 申请日期 1991.09.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NOZAKI CHIHARU;FUJITA SHINOBU
分类号 H01L29/872;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/778;H01L29/812 主分类号 H01L29/872
代理机构 代理人
主权项
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