发明名称 MANUFACTURE OF PROTECTIVE FILM FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0582510(A) 申请公布日期 1993.04.02
申请号 JP19910238518 申请日期 1991.09.19
申请人 NEC CORP 发明人 KUWABARA SHINICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/312 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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