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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0525723(U)	申请公布日期	1993.04.02
申请号	JP19910080689U	申请日期	1991.09.09
申请人		发明人
分类号	H01L21/67;H01L21/304;H01L21/52;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/52	主分类号	H01L21/67
代理机构		代理人
主权项
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