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发明名称
STRUCTURE OF SUPERCONDUCTING MULTILAYER WIRING AND METHOD FOR FORMING THE SAME
摘要
申请公布号
JPH0582841(A)
申请公布日期
1993.04.02
申请号
JP19910239351
申请日期
1991.09.19
申请人
FUJITSU LTD
发明人
TANAKA ATSUSHI;KAMEHARA NOBUO
分类号
H01L39/02
主分类号
H01L39/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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