发明名称 MANUFACTURE OF MIS-TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0582784(A) 申请公布日期 1993.04.02
申请号 JP19910270374 申请日期 1991.09.20
申请人 SONY CORP 发明人 ISHIDA MINORU
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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