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发明名称 ELECTRICAL PROPERTY INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0582604(A) 申请公布日期 1993.04.02
申请号 JP19910268729 申请日期 1991.09.19
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 YAMAGUCHI HIDENOBU
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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