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经营范围
发明名称
WAFER CARRIER
摘要
申请公布号
JPH0582625(A)
申请公布日期
1993.04.02
申请号
JP19910239312
申请日期
1991.09.19
申请人
HITACHI LTD
发明人
SATO TAKASHI
分类号
H01L21/677;H01L21/68
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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