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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0582509(A) 申请公布日期 1993.04.02
申请号 JP19910243065 申请日期 1991.09.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SHIRAISHI MASATOSHI
分类号 H01L21/312;H01L21/768;H01L23/29;H01L23/31;H01L23/522 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
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