发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0582508(A) 申请公布日期 1993.04.02
申请号 JP19910243881 申请日期 1991.09.25
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 NAKAJIMA TSUNEHIRO
分类号 H01L21/283;H01L21/31;H01L21/318 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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