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发明名称 FLUSHING CONTROL DEVICE FOR LIQUID METAL ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH0582061(A) 申请公布日期 1993.04.02
申请号 JP19910239302 申请日期 1991.09.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 ONISHI TAKESHI;ISHITANI TORU
分类号 H01J27/22;H01J37/08;H01J37/248 主分类号 H01J27/22
代理机构 代理人
主权项
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