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发明名称 LENGTH MEASURING INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 JPH0579816(A) 申请公布日期 1993.03.30
申请号 JP19910241766 申请日期 1991.09.20
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 WADA YORIO;TOKUHASHI ARINORI
分类号 G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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