METHOD OF CHECKING UNIFORMITY OF DISTRIBUTION OF ELECTRIC POTENTIAL OF SEMICONDUCTOR MATERIAL SURFACE,申请号SU19904829576-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF CHECKING UNIFORMITY OF DISTRIBUTION OF ELECTRIC POTENTIAL OF SEMICONDUCTOR MATERIAL SURFACE
摘要
申请公布号	RU1806418(C)	申请公布日期	1993.03.30
申请号	SU19904829576	申请日期	1990.05.28
申请人	PROIZV OB "MINSKIJ CHASOVOJ ZAVOD"	发明人	NEMTSEV VIKTOR S,SU;ORLOVA TATYANA A,SU;POLYAKOVA NATALIYA G,SU;TYAVLOVSKIJ KONSTANTIN L,SU;YARZHEMBITSKIJ VIKTOR B,SU
分类号	H01L21/66;H01L21/00	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
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