| 发明名称 |
OPERATING METHOD FOR DRY COMPRESSION TYPE MULTI-STAGE VACUUM PUMP AND VACUUM PUMP TO PERFORM SAID OPERATING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0579488(A) |
申请公布日期 |
1993.03.30 |
| 申请号 |
JP19910061687 |
申请日期 |
1991.03.26 |
| 申请人 |
LEYBOLD AG |
发明人 |
PAURU BATSUHAMAN;ROTAARU BURENNAA;HARUTOMUUTO KURIEEN;MONIKA KUUN |
| 分类号 |
F04C28/00;B01D53/04;B01D53/32;B01D53/68;F04C23/00;F04C25/02;F04C28/02;F04C28/28;F04C29/00;F04C29/12 |
主分类号 |
F04C28/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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