发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR TESTING INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0580083(A) 申请公布日期 1993.03.30
申请号 JP19910268704 申请日期 1991.09.20
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 YAITA MAKOTO;NAGATSUMA TADAO;SHINAGAWA MITSURU
分类号 G01R19/00;G01R31/302;H01L21/66 主分类号 G01R19/00
代理机构 代理人
主权项
地址