发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR TESTING INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0580083(A) |
申请公布日期 |
1993.03.30 |
申请号 |
JP19910268704 |
申请日期 |
1991.09.20 |
申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
YAITA MAKOTO;NAGATSUMA TADAO;SHINAGAWA MITSURU |
分类号 |
G01R19/00;G01R31/302;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R19/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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