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发明名称 DEVICE FOR FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0578828(A) 申请公布日期 1993.03.30
申请号 JP19910241731 申请日期 1991.09.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KOSHIRAKAWA NOBUTAKA
分类号 C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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