| 发明名称 |
CANTILEVER FOR INTERATOMIC-FORCE MICROSCOPE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0579835(A) |
申请公布日期 |
1993.03.30 |
| 申请号 |
JP19920054665 |
申请日期 |
1992.03.13 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KADO HIROYUKI;TODA TAKAO |
| 分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/24;G01Q60/38;H01J9/14;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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