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发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH0579937(A) 申请公布日期 1993.03.30
申请号 JP19910243734 申请日期 1991.09.24
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OHATA SATORU;YONEMOTO GO
分类号 G01L9/04;G01L9/00;G01L13/06;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
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