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发明名称 APPARATUS FOR PRODUCING AN THIN FILM OF Y1 Ba2 Cu3 O7-y HIGH TEMPERATURE SUPER CONDUCTION METAL BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION
摘要
申请公布号 KR930002443(B1) 申请公布日期 1993.03.30
申请号 KR19910004383 申请日期 1991.03.20
申请人 KOREA ATOMIC ENERGY RESEARCH INSTITUTE 发明人 LEE, HUI - KYUN;PARK, SUN - DONG;KIM, KI - BAEK;JANG, IN - SUN;JANG, IN - SUN;WON, DONG - YON
分类号 C23C16/00;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
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