| 发明名称 |
PRODUCTION OF TIO2-SNO2 FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0578197(A) |
申请公布日期 |
1993.03.30 |
| 申请号 |
JP19920055235 |
申请日期 |
1992.03.13 |
| 申请人 |
KYOCERA CORP |
发明人 |
OKAMURA TAKESHI;SEKI YOUJI;SAGAWA NOBUKAZU |
| 分类号 |
C30B23/08;C30B25/06;C30B29/16;H01B5/14;H01B13/00;H01L21/316 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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