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经营范围
发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0578829(A)
申请公布日期
1993.03.30
申请号
JP19910242943
申请日期
1991.09.24
申请人
NIKON CORP
发明人
INOMATA OSAMU
分类号
C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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