发明名称 STRUCTURE OF FLEXIBLE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0574862(A) 申请公布日期 1993.03.26
申请号 JP19910236320 申请日期 1991.09.17
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 HAYASHI TERUNAO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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