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发明名称 SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0574402(A) 申请公布日期 1993.03.26
申请号 JP19910237795 申请日期 1991.09.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 IIIZUMI TAKASHI
分类号 H01J37/147;H01J37/22;H01J37/28 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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