发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 JPH0574896(A) 申请公布日期 1993.03.26
申请号 JP19910234199 申请日期 1991.09.13
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 TAGUCHI TAKATOSHI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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