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发明名称 RESIST PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0574701(A) 申请公布日期 1993.03.26
申请号 JP19910234444 申请日期 1991.09.13
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 MORIUCHI NOBORU;TSUCHIYA OSAMU;SHIRAI SEIICHIRO;MORITA MASAYUKI
分类号 H01L21/30;B81C99/00;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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