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发明名称
THERMOCOMPRESSION METHOD AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号
JPH0574873(A)
申请公布日期
1993.03.26
申请号
JP19910261433
申请日期
1991.09.13
申请人
CASIO COMPUT CO LTD
发明人
SUGIMOTO SADAYUKI
分类号
H01L21/603;G02F1/13;H01L21/60
主分类号
H01L21/603
代理机构
代理人
主权项
地址
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