发明名称 THERMOCOMPRESSION METHOD AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH0574873(A) 申请公布日期 1993.03.26
申请号 JP19910261433 申请日期 1991.09.13
申请人 CASIO COMPUT CO LTD 发明人 SUGIMOTO SADAYUKI
分类号 H01L21/603;G02F1/13;H01L21/60 主分类号 H01L21/603
代理机构 代理人
主权项
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