发明名称 MANUFACTURE OF SILICON SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0574782(A) 申请公布日期 1993.03.26
申请号 JP19910258413 申请日期 1991.09.10
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP;MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP 发明人 FURUYA HISASHI;AKIYOSHI TAKEO;HORIGUCHI SEIICHI;KADOI MIKIO;SHIMANUKI YASUSHI
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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