发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0574803(A) 申请公布日期 1993.03.26
申请号 JP19920017754 申请日期 1992.02.03
申请人 SHARP CORP 发明人 AYUKAWA AKITSU;ONISHI SHIGEO
分类号 H01L21/265;H01L21/266;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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