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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0575031(A) 申请公布日期 1993.03.26
申请号 JP19910232110 申请日期 1991.09.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 TSUCHIDA MAYUMI
分类号 H01L21/82;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/088 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
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