发明名称 X-RAY DIFFRACTION MICROSCOPIC METHOD
摘要
申请公布号 JPH0574907(A) 申请公布日期 1993.03.26
申请号 JP19910174518 申请日期 1991.06.19
申请人 NEC CORP 发明人 KITANO TOMOHISA
分类号 G01N23/207;H01L21/66 主分类号 G01N23/207
代理机构 代理人
主权项
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