发明名称 CHARGED-BEAM PLOTTING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0574693(A) 申请公布日期 1993.03.26
申请号 JP19910238035 申请日期 1991.09.18
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO ELECTRON KK 发明人 NISHINO HIDEAKI;IKENAGA OSAMU;SAITO TAMAKI;OKI SHINICHIRO
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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