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发明名称 WAFER PROBING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0574886(A) 申请公布日期 1993.03.26
申请号 JP19910232619 申请日期 1991.09.12
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 IGARASHI KINICHI
分类号 G01R31/28;G11C29/00;G11C29/56;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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