| 发明名称 |
ELECTRON SOURCE SYSTEM AND ITS CONTROL METH0D |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0574395(A) |
申请公布日期 |
1993.03.26 |
| 申请号 |
JP19910237828 |
申请日期 |
1991.09.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAKAI KATSUHIKO;ABE KATSUNOBU |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J37/04;H01J37/06;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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