发明名称 VERFAHREN ZUR ZERSTOERUNG VON SAUERSTOFFINDUZIERTEN THERMODONATOREN IN SILICIUM
摘要
申请公布号 DD269492(B3) 申请公布日期 1993.03.25
申请号 DD19880313391 申请日期 1988.03.04
申请人 FREIBERGER ELEKTRONIKWERKSTOFFE PRODUKTIONS- U. VERTRIEBS-GESELLSCHAFT MBH,DE 发明人 REICHEL,JOHANNES,DR. RER. NAT. DIPL.-PHYS.,DE;KIRSCHT,FRITZ-G.,DR. RER. NAT. DIPL.-KRISTALL.,DE;KESSLER,HAGEN,DIPL.-PHYS.,DE;KRAUSS,NORBERT,DIPL.-ING.,DE;STIEHLER,FRITZ,DIPL.-ING.,DE
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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