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发明名称 PRUEFKOPFMANIPULATOR FUER DAS AUTOMATISCHE PRUEFEN.
摘要
申请公布号 DE3878364(D1) 申请公布日期 1993.03.25
申请号 DE19883878364 申请日期 1988.09.16
申请人 SCHLUMBERGER INDUSTRIES, MONTROUGE, FR 发明人 BEAUCOUP, LOUIS, F-42000 SAINT-ETIENNE, FR;BONCOMPAIN, JEAN, F-42100 SAINT-ETIENNE, FR
分类号 G01R31/00;B23Q1/48;B25J11/00;G01R1/067;G01R31/28;G12B9/08;H01L21/66;(IPC1-7):G12B9/08;B23Q1/16 主分类号 G01R31/00
代理机构 代理人
主权项
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