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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERSTRUKTUR.
摘要
申请公布号 DE3686315(T2) 申请公布日期 1993.03.25
申请号 DE19863686315T 申请日期 1986.12.09
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 FUKUZAWA, TADASHI, SETAGAYA-KU TOKYO, JP;CHINONE, NAOKI, SOMECHI CHOFU-SHI TOKYO, JP;TONOMURA, AKIRA, KOGANEI-SHI TOKYO, JP
分类号 H01S5/00;H01L21/027;H01L21/266;H01L29/12;H01L29/772;H01S5/34;(IPC1-7):H01L21/263 主分类号 H01S5/00
代理机构 代理人
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