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发明名称 KAPAZITIVER DIFFERENZDRUCKSENSOR MIT UEBERDRUCKSICHERUNG UND VERFAHREN ZUR UEBERDRUCKSICHERUNG EINES KAPAZITIVEN DRUCKSENSORS.
摘要
申请公布号 DE68904889(D1) 申请公布日期 1993.03.25
申请号 DE19896004889 申请日期 1989.12.21
申请人 UNITED TECHNOLOGIES CORP., HARTFORD, CONN., US 发明人 GRANTHAM, DANIEL H., CONNECTICUT 06033, US
分类号 G01L9/12;G01L9/00;G01L13/06;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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