METHOD AND APPARATUS FOR REMOVING SMALL PARTICLES FROM A SURFACE,申请号EP19860105296-传众专利搜索

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发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR REMOVING SMALL PARTICLES FROM A SURFACE
摘要
申请公布号	EP0199288(B1)	申请公布日期	1993.03.24
申请号	EP19860105296	申请日期	1986.04.16
申请人	KAISER, ROBERT	发明人	KAISER, ROBERT
分类号	B08B3/04;C23G5/028;C23G5/032;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306	主分类号	B08B3/04
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