发明名称 |
DEVICE FOR PRODUCING COMPOSITIONALLY GRADIENT MATERIAL |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0570940(A) |
申请公布日期 |
1993.03.23 |
申请号 |
JP19910234424 |
申请日期 |
1991.09.13 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KAJIYAMA HIROSHI;KONDO SEIICHI |
分类号 |
C23C14/06;C23C14/34;C23C14/54 |
主分类号 |
C23C14/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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