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发明名称 GAS FEEDER
摘要
申请公布号 JPH0568866(A) 申请公布日期 1993.03.23
申请号 JP19910258578 申请日期 1991.09.09
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 MATSUO TAKENOBU;WAKABAYASHI TAKESHI;MORIYA SHUJI
分类号 B01J4/00;B01J7/00;F17C13/02;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 B01J4/00
代理机构 代理人
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