| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCTION OF MULTILAYERED EPITAXIALLY GROWN CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0570285(A) |
申请公布日期 |
1993.03.23 |
| 申请号 |
JP19910261046 |
申请日期 |
1991.09.12 |
| 申请人 |
NISSHIN STEEL CO LTD |
发明人 |
KURATA KAZUHIRO;NAKAMURA HAJIME;TOMITA YUSHI |
| 分类号 |
C30B19/00;C30B19/06;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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