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发明名称
PROCESS OF MANUFACTURE OF MOS IC WITH CAPACITORS
摘要
申请公布号
RU1804664(C)
申请公布日期
1993.03.23
申请号
SU19914954318
申请日期
1991.06.19
申请人
AKTSIONERNOE OBESTVO "ALFA"
发明人
IVANKOVSKIJ MAKSIM M,SU;AGRICH YURIJ V,SU
分类号
H01L21/8232;H01L21/82
主分类号
H01L21/8232
代理机构
代理人
主权项
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