发明名称 SCANNING-TYPE PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0571949(A) 申请公布日期 1993.03.23
申请号 JP19910236560 申请日期 1991.09.17
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 OKADA TAKAO;MORITA KAZUHIRO
分类号 G01B7/34;G01B21/30;G01N37/00;G01Q30/00;G01Q60/10;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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