发明名称 VACUUM UNIT
摘要
申请公布号 JPH0569997(A) 申请公布日期 1993.03.23
申请号 JP19910226310 申请日期 1991.09.06
申请人 SMC CORP 发明人 NAGAI SHIGEKAZU;MATSUSHIMA HIROSHI;SAITO AKIO
分类号 B25J15/06;B65G47/91;B65H3/08;B65H7/16;F04F5/52;F15B20/00;G01D1/18;G01D7/00;G01L9/00;G01L9/08 主分类号 B25J15/06
代理机构 代理人
主权项
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