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经营范围
发明名称
VACUUM UNIT
摘要
申请公布号
JPH0569997(A)
申请公布日期
1993.03.23
申请号
JP19910226310
申请日期
1991.09.06
申请人
SMC CORP
发明人
NAGAI SHIGEKAZU;MATSUSHIMA HIROSHI;SAITO AKIO
分类号
B25J15/06;B65G47/91;B65H3/08;B65H7/16;F04F5/52;F15B20/00;G01D1/18;G01D7/00;G01L9/00;G01L9/08
主分类号
B25J15/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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