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发明名称 COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0568923(A) 申请公布日期 1993.03.23
申请号 JP19920070798 申请日期 1992.03.27
申请人 MINNESOTA MINING & MFG CO <3M> 发明人 JIYON FUREDERITSUKU KISUNAA;TOOMASU MAIKERU MIRUBOON;ROBAATO JIERARUDO PUREBAN
分类号 B05C1/02;B05C9/12;B05C13/00;G03C11/08;G03F7/16;G03F7/18;H01L21/027 主分类号 B05C1/02
代理机构 代理人
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