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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0570955(A) 申请公布日期 1993.03.23
申请号 JP19910232929 申请日期 1991.09.12
申请人 OSAKA GAS CO LTD 发明人 INOUE NAOKI;NAKAOKA HARUYUKI;AZUMA HIDEKI;MORIKAWA SHIGERU;KOBAYASHI TAKASHI
分类号 C23C16/48;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
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