发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR TESTING MOS INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0572288(A) |
申请公布日期 |
1993.03.23 |
申请号 |
JP19910260937 |
申请日期 |
1991.09.11 |
申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
MIZUSAWA TAKESHI |
分类号 |
G01R31/319;G01R31/28;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/319 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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