| 发明名称 |
METHOD AND EQUIPMENT FOR DIAMOND VAPOR PHASE SYNTHESIS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0570290(A) |
申请公布日期 |
1993.03.23 |
| 申请号 |
JP19910231946 |
申请日期 |
1991.09.11 |
| 申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
OKANO TOKUO;YAMANOI KIYOSHI |
| 分类号 |
C30B25/16;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/46;C23C16/50;C23C16/513;C23C16/52;C30B29/04 |
主分类号 |
C30B25/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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