发明名称 CONTINUOUS SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0570951(A) 申请公布日期 1993.03.23
申请号 JP19910258630 申请日期 1991.09.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 ONO YASUNORI;KIYONO TOMOYUKI;OHATA KOKICHI;NATSUI KENICHI;SETOYAMA HIDETSUGU;KAMEI MITSUHIRO;SUZUKI TETSUAKI
分类号 C23C14/34;C23C14/56 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
地址