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发明名称 MICROWAVE ABSORPTION PLASMA TREATING DEVICE HAVING MAGNETIC FIELD
摘要
申请公布号 JPH0570956(A) 申请公布日期 1993.03.23
申请号 JP19910234830 申请日期 1991.09.13
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 SEGAWA TOSHINORI
分类号 C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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